蕃地的調查與地圖測量，是第五任總督佐久間左馬太（1906-1915）任內的重要施政，由蕃務本署測量技師野呂寧從1908年起開始負責，作業範圍幾乎涵蓋了臺灣全島的山麓地帶及部分高山地帶，不只針對土地調查而做測量，對林野整理統計也有頗多貢獻。台灣總督府為了全面征討蕃人與拓殖蕃地測量繪製的「蕃地」地形圖，是瞭解並前進番地的最基本工作。不僅當時日軍參謀本部派測量班赴各地測量地形，而且於1909年首次實施「蕃地」農業狀況、國土保全、礦物埋藏調查，殖產局亦參與良多。可以說，蕃地地形圖的研製無論是從蕃務編制上做調整，或投入的人力、經費，都可見其『掃蕩生蕃』的決心與魄力。總計佐久間在台九年餘，總共完成蕃地測量1,012.67方里（約15,593方公里），並據此繪成蕃地地形圖前後共68張。
由臺灣總督府警察本署和蕃務本署一起主持，並在陸地測量部協助下「臺灣蕃地地形圖」共完成六十八幅五萬分一的地形圖，其所橫跨的時間，從明治四十年至大正五年(1907-1916)，是日人治台五十年間先後實測六套地形圖中，為了有效進入番地，管理山區部落，並獲取山地豐富資源所調製的一套地形圖。唯測量期間，因北蕃泰雅族抗日不斷，測量工作斷斷續續，前後拖了七、八才完成，且留下中央山脈南段，從關山、卑南主山到出雪山這一段未測量即宣告結束，得而由陸地測量部進行另一次更精密的全島測量才得以補齊。68張番地地形圖只有33張標示測量年代，其餘35張年代不詳，可見當時測量工作進行的間斷與不易。
地形圖上的地名點，主要是以當地部落命名發音為主，並以片假名記之。每一區的部族，再以各蕃族的統稱註釋，例如：南澳蕃、卑南アミ蕃，配合當時蕃族科對高山族固有舊慣的調查，可以清楚知道各族系的分佈與相對關係。圖上盡是番社或自然景觀以及鳥獸路徑的交通線，並以隘勇線串連隘勇監督所、番務官吏駐在所以及番社聚落。然而部分地區蕃界曲線不明，斷斷續續並不連貫。特別是東部地區向屬民蕃雜處特區，未有明確蕃界，而地形圖的測量多少與南、北蕃地征討以及東部特殊行政區的不同策略導向有關。蕃地地形圖的進行，促使以軍事討伐的理蕃五年計畫，更能掌握討伐區的地勢、氣象、交通等資料，克服前次的失勢。蕃地地形圖的生成，也是國家政治力介入臺灣原住民生活區最早且詳盡的指標作為。
